Résumé:
Dans ce travail nous avons préparé des couches minces transparentes conductrices
ZnO:In2O3 par la technique spray pyrolyse sur des substrats en verre. Ces films sont obtenus à
partir de solution d’acétate de zinc et du chlorure d’indium dissous dans le méthanol, à une
température de substrat fixe 300°C. Notre intérêt porte sur l’effet de pourcentage de phase sur
les propriétés structurales et optiques de ces couches. Pour cela nous avons utilisé la
diffraction des rayons x pour les caractérisations structurales, l’analyse structurale, a montré
que les films ZnO et Zn0.5In0.5O déposés ont une orientation préférentielle selon la direction
(002), ce résultat confirme que la phase majoritaire est de ZnO. Le spectrophotomètre
UV–Visible confirme qu’il est possible d’obtenir de bons films transparents avec une
transmittance de 70 à 85% dans le visible. L’accroissement d‘indium augmente le gap
optique. Ce dernier varie de 3.2 jusqu’à 3.75 eV.