Synthèse et caractérisation des couches minces de ZnO:Al élaborée par spray pyrolyse

Abstract

Dans ce travail, nos couches minces transparentes et conductrices d’oxyde de zinc ZnO dopées Aluminium ont été déposées par la technique spray pyrolyses sur des substrats de verre ordinaire préchauffés à la température de 350°C. Des solutions aqueuses de chlorure de zinc de concentration 0.1M et dopées à partir du nitrate d’aluminium ont été utilisées pour le dépôt. Le pourcentage de l’aluminium dans la solution variait de 0% à 7 %. Après dépôt, les couches ont été caractérisées et l’effet de la concentration du dopage de l’aluminium sur leurs propriétés structurales et optiques a été étudié. L’analyse structurale a montré que les films déposés ont cristallisé suivant la direction préférentielle (002) et que le dopage de l’aluminium avait un effet important sur l’intensité et le déplacement des pics. Les spectres de transmission montrent que les films ZnO :Alsont transparents (~ 85%) dans les régions du proche ultravioletet du visible.