Caractérisation optique des couches minces SiCN

Abstract

Les couches minces sont préparées avec la technique de pulvérisation cathodique magnétron et pour caractériser ces couches SiCN on a utilisée la spectroscopie Infra Rouge (IR) et la spectroscopie Ultra Violet (UV). Les spectroscopies IR et UV- visible donnent : Les types des liaisons dans ces couches, le changement du gap optique suivant le taux de l’azote.